A New Test Structure for the Measurement of the Recombination Lifetime Profile in Processed Silicon Wafers / S. DALIENTO; A. SANSEVERINO; P. SPIRITO; G.F. VITALE; L; ZENI. - (1998).
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Titolo: | A New Test Structure for the Measurement of the Recombination Lifetime Profile in Processed Silicon Wafers |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1998 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11580/6501 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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